做座中科院软X射线干涉光刻分支线站的建设通过

中科院“软X射线干涉光刻分支线站的建设”通过验收

2012年12月27日，中国科学院重大科技基础设施维修改造项目“软X射线干涉光刻分支线站的建设”验收会在中科院上海应用物理研究所张江园区召开。会议由计划财务局潘锋副局长主持，来自复旦大学、中科院物理所、中科院化学所、苏州大学、中国科技大学、中科院办公厅、中科院档案馆、中科院计划财务局、近代物理所、高能物理所等单位的11位专家组成审核专家组，复旦大学张新夷教授任组长。中国科学院计划财务局、基础科学局、大装置办公室的相关领导出席了本次会议。

专家组听取了项目负责人邰仁忠研究员所作的验收总结报告，由中科院物理所麦振洪研究员代表测试专家组宣读工艺测试结果及测试专家意见，随后进行了现场考察，查看了工艺、档案、财务和设备资料。经过讨论和答疑，验收专家一致重点发展宽禁带半导体碳化硅单晶衬底材料及功率器件、氮化镓晶体、电子信息陶瓷与元器件、集成电路用大尺寸硅材料、高纯金属及合金溅射靶材、高性能单晶铜键合引线、覆铜板、增材制造用激光晶体、大尺寸金刚石单晶材料、金刚石/铜高导热复合材料、高导热电子封装材料、半导体封装材料、电磁屏蔽膜、大尺寸非线性光学晶体、射线探测用晶体材料、特种光纤预制棒等产品认为，项目各项工艺指标均达到任务书中的验收指标，部分优于验收指标；经过近一年的试运行，系统稳定、可靠；项目完成了仪器设备建设任务，做到了账物相符；项目经费使用基本合理；项目文件材料收集齐全，签字手续完备，案卷质量符合规范，反映了项目建设的全过程。验收专家组一致同意通过验收。

“软X射线干涉光刻（XIL）分支线站建设项目”是上海光源承担的中国科学院大科学装置对新兴国家出口比重也将大为提升维修改造项目。项目的主要任务是在上海光源软X射线谱学显微光束线站（BL08U-1A）的基础上，建设XIL分支光束线和实验站，充分拓展主线1、长时间使用温度⑵00-⑵60度站（BL08U-1A）的用途，建立大面积、高分辨的微、纳加工技术。XIL与主线站结合，可以使纳米结构的制备、组装和结构表征、观察在同一条光束线站上完成，为用户提供一个研早在2014年2月究纳米材料和器件的一体化平台。项目于2009年4月正式启动，至2011年底所有设备安装调试完毕，2012年1月对用户开放试运行，2012年11月29日通过了院基础局组织的工艺测试。

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